活动题材
某中小型半导体技术营造公司企业主座落在长江三角洲形地,注意产量晶圆和集成ic。在产量流程中,晶圆割切和增加光泽关键期发生很大磨研液化工废水,每日进行排缩量上涨约50吨。在化工废水底带有高浓硫酸浓度自动隐藏物、彩石阴离子及有机会更改剂,直接的进行废气会对生态会导致厉害污染源,公司企业主需要投建正规专业除理油烟净化器。
废水处理因素及来自
磨研液工业废水主耍都来自于晶圆加工处理中的药剂学物理增加光泽(CMP)道工序,主耍污染问题物涉及到:
悬浮按钮粉末物
:二阳极氧化的硅、阳极氧化的铝等研磨抛光粒状,粒度在0.1-1μm,浓硫酸浓度达2000mg/L。
黑色金属阴阳离子
:铜、铁、锌等,产于镜面抛光垫变形及晶圆表面能合金层,铜化合物渗透压约50mg/L。
生产加上剂
:也包括表层化学活化剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强碱物
:pH值起伏较大大,一般性在2-11彼此。
清理施工鑫霖环保流程图
重视废水操作性能指标,采用了“预操作+生物化+深度1操作”组合式工艺技术:
可以调节池
:匀衡污水水质用水量,使用酸碱度调节器pH至普通。
水泥混凝土悠长岁月中
:加药PAC(配位聚氯化铝)和PAM(PP酰胺),避开悬停物和溶液,沉降后SS避开率>90%。
催化剂的作用氧化的
:采用了Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)化学降解有机的更改剂,COD除去率达60%。
动物处里
:MBR膜菌物反应迟钝器进第一步吸附累计充分物,COD降低100mg/L一些。
阴离子相互交换
:专用工具硅橡胶气体吸附铜正离子,出水出水铜分子量<0.5mg/L。
砂滤+几丁质酶炭滤出
:切实保障出液清澈见底,到《工业废水宗合排卸基准》(GB8978-1996)1阶段基准。
以后结果
机系统正常运行平稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
回收率达40%,已满达到标准摆放,年减掉废渣摆放1.6万吨。
操作成本预算约15元/吨,远不高于的行业的平均。