半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
大型项目底色
该产业链园积聚了十余家半导体行业相关联客户,开发日治理 力量5000吨,想要治理 是来自于各不相同客户的混合着焦化废水操作方法。在各客户生产方式技艺文化差异大,焦化废水操作方法组成较为复杂变化,治理 困难程度较高。
化工废水物质及源
污水重点涉及五大类:高空气氧化还原电位巧妙污水(光刻胶、定影液等)、含氟污水(刻蚀工步)和酸碱度污水(拆洗工步)。特出含量涉及异丙醇、四甲基氢空气氧化铵等难溶解巧妙物,和氟化物、化学需氧量等有机物污染问题物。污水COD变化大(500-3000mg/L),氟化物空气氧化还原电位100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
治疗加工标准流程
进行"划分类别征集+分质解决+集中授课深度.解决"的创新性模型:
机构内层等级分类预治理:含氟焦化废水分开抽取并预治理
工业区管线定义卸料软件
标准化调接池多样化水质监测
有级沥青混凝土滤渣删去浮动物和橡胶胶体部分
高效能生物制品发应器(HBR)治疗生物碳生态破坏物
什么是臭氧催化剂的作用氧化的吸附难转化充分物
反融入系统化开始脱盐办理
红外光谱线灭菌确保冒水安全防护
特点如何设置了线监测数据设备软件和自动式投加药剂设备软件,防范水质标准价格波动。
最终能够成效
操作系统作业一年来,除理作用稳固安全。水流COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,化学需氧量<5mg/L,总氮<15mg/L,提高河流Ⅳ类标,部份中水回收于园林植物及蒸发塔保湿,中水回收率超越30%。第年减低新鮮水施用约70万吨,为园林公司合理节省水电费百余W。