该厂为85英寸晶圆出产线匹配的超超纯水系统性，每日引发含硅废污水150吨。废污河中虽无天价属，但硅水平高易积垢，且电阻器率需达成18MΩ·cm就能使用。增加了外工院艺尚未满足了新废止的《自动化工艺水弄脏物废气出的标准》（GB39731-2020）非常废气出允许值。 生产废水营养成分特征 核心环保问题物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、粒状硅（粒度0.1-1μm） 特有必须 ：TOC<10μg/L，硼含量的<5μg/L 土质特征 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅类化合物特性繁琐 加工技艺注意事项 改革创新采取"梯级膜提取+电去亚铁离子"乐队组合工艺流程： 微滤预治理 ：1μm瓷器膜屏蔽短信大粉末硅，通量恢复80LMH 正离子互换光敏树脂 ：D201大孔树酯取舍性气体吸附硅酸原子 中级RO机系统 ：第1 段收旧率60%，第二个段主要包括高脱硼膜部件 EDI电去阴阳离子 ：直流电黏度2A/m²，持继取除稳定度铁离子 紫外光灭菌 ：254nm紫外光线线含水量40mJ/cm² 水平新亮点 发掘多功能阻硅剂（设计胺类复合型物），减慢膜弄脏时间3倍 EDI方案转型升级流道的设计，硅去掉率上升至99.8% 在线上硅定量测试仪（衡量范围图0.1-500μg/L）满足精细控住 执行举措 经第3方判断： 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼水平从8μg/L高于0.3μg/L 系統再利用率从原40%提高了至68% 膜根换生长期调长至5年，年加载成本费减少35%