某半导体设备手工制造公司因晶圆擦拭程序行成含氨废渣，水流量200吨/天。废渣中除挥发酚外还含有氟化物和进样器血本属，办理难度系数大。地方进行排放规范耍求挥发酚＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水含量及渠道 晶圆冲洗污水（最主要渠道）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀步骤污废水 ：含微量分析铜、镍等天价属，pH值浮动大 CMP打磨废水处理方法：含硅颗料及氯离子 处里标准流程标准流程 按照"耐腐蚀沉淀物中+膜隔离+折点氯化"整合方法： 预治疗 ：污泥脱水CaCl2除氟，操纵pH在7.5-8. 反渗透膜体系 ：除掉0.01μm左右颗粒剂物 反融于果汁 ：将化学需氧量浓缩造成至1000mg/L综上所述 折点氯化 ：精密掌握氯加药量，将挥发酚转换为离氮气 阴离子对换 ：保驾护航血本属合格 结果是实际效果 氟化物稳固＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 巨资属成分大于测试限 水造纸废水处理率达75% 淤泥造成量变少40%