天津某半导体设备基带芯片制作业厂,晶圆粗加工环节中存在含硅、氟的特别焦化生活污水,设置处置规模较1200吨/日。焦化生活污水因素冗杂,内含nm级硅粒子及盐酸,以往处置步骤根本无法及格。
生活污水化学成分及从何而来
大部分弄脏物
:悬浊液硅(100-500nm粒级)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
特征步骤
:晶圆刻蚀废鑫霖环保(45%)、CMP电学机械设施设备制造cnc精密机械加工废鑫霖环保(40%)、设施设备清洗阴道水(15%)
治理 工艺技术步奏
改革创新用到"化学物质悠长岁月中+特殊膜分离法"技艺行车路线:
钙盐沉定
:污泥脱水氯化钙祛除氟阴阳离子(提取CaF2沉淀出的)
水解酸化池响应
:结合水解酸化池剂变现胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm管径膜截流微细粒状
超滤工作会更装置
:脱盐率>98%,收购 率75%
挥发凝结
:浓水段达到氟化物零尾气排放标准
然后疗效
氟化物盐浓度:<8mg/L(不超过一个国家1级标准规定10mg/L)
硅的含量:<5mg/L
水影视资源循环率:70%用来降温塔保湿
垃圾回收利用:减压蒸馏食物残渣量较老式工艺流程降低60%